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[1]张钦英,陈颢,任兴润,等.Al靶溅射功率对CrAlN涂层组织结构及摩擦性能的影响[J].有色金属科学与工程,2017,(05):109-114.[doi:10.13264/j.cnki.ysjskx.2017.05.016]
　ZHANG Qinying,CHEN Hao,REN Xingrun,et al.Effect of Al target sputtering power on themicrostructure and tribological properties of CrAlN coatings[J].,2017,(05):109-114.[doi:10.13264/j.cnki.ysjskx.2017.05.016]
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Al靶溅射功率对CrAlN涂层组织结构及摩擦性能的影响(/HTML)
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《有色金属科学与工程》[ISSN:1674-9669/CN:36-1311/TF]

卷:
期数:
2017年05期
页码:
109-114
栏目:
出版日期:
2017-09-30

文章信息/Info

Title:
Effect of Al target sputtering power on themicrostructure and tribological properties of CrAlN coatings
作者:
张钦英1; 陈颢1; 2; 任兴润1; 文彦1
1.江西理工大学材料科学与工程学院，江西 赣州 341000；2.钨资源高效开发及应用技术教育部工程研究中心，江西 赣州 341000
Author(s):
ZHANG Qinying1;  CHEN Hao1; 2;  REN Xingrun1;  WEN Yan1
1.School of Material Science and Engineering , Jiangxi University of Science and Technology, Ganzhou 341000, China; 2. Engineering Research Center of the Ministry of Education for Effective Development and Application Technology of Tungsten Resources, Ganzhou 341000, China
关键词:
磁控溅射; CrAlN; 摩擦磨损; 表面形貌
分类号:
TG174.44；TF124.85
DOI:
10.13264/j.cnki.ysjskx.2017.05.016
文献标志码:
A
摘要:
为探寻Al靶功率对CrAlN涂层性能的直接影响，利用直流反应磁控溅射的方法在304不锈钢基体上沉积CrAlN涂 层，并研究不同Al靶功率对CrAlN涂层组织结构与摩擦性能的影响. 采用SEM、XRD、AFM、往复摩擦磨损试验机、显微硬 度计、三维轮廓仪对试样的物相组成、表面形貌、摩擦磨损性能、硬度和磨痕形貌进行表征. 结果表明：随着Al靶功率 的增加，CrAlN涂层的晶粒尺寸呈现轻微的先增大后减小的规律，Al靶功率为180 W时的晶粒尺寸最小；随着Al靶功率的 增加，显微硬度、平均沉积速率呈现先增大后减小的规律而磨痕深度、平均体积磨损率呈现出相反的变化趋势. 经综合 比较， Al靶功率为150 W时CrAlN涂层的综合性能较优.

参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：2017-04-26
基金项目：国家自然科学基金资助项目（51464013）；江西省科技厅重点研发计划项目（20151BBE50002）；江西理工大学青年英才支持计划资助项目
通信作者：陈颢（1978- ），男，博士，教授，主要从事材料表面改性方面的研究，E-mail：chenhao_168168@126.com.
更新日期/Last Update: 2017-10-20